高纯压力表在芯片半导体行业的应用非常广泛,主要用于测量超高纯气体的压力,确保生产过程的稳定性和安全性?。高纯压力表具有高精度、高可靠性和高安全性的特点,适用于半导体加工、高纯气体传输等场合?。
应用场景
在半导体工业中,高纯压力表主要用于测量超高纯气体的压力,确保气体压力的稳定性。超高纯气体如氮气、氩气、氦气和氢气等在半导体加工中扮演重要角色。例如,氮气用于通用清洗和惰性气体,氩气用于蚀刻和沉积反应中的等离子气体,氦气用于具有特殊热量的惰性气体,氢气用于清洗、气相沉积以及键合等?。
技术参数和标准
通常采用美国标准GRAD A 或者GRAD B级,国内常采用1.6级。
高纯压力表的技术参数包括:
- ?精度等级?:通常为1.6级
- ?压力范围?:从-1-6 bar到0-600 bar/psi
- ?材质?:通常使用不锈钢材质,确保耐腐蚀和耐用性
- ?连接方式?:常见的连接方式包括?" NPT或VCR-F、VCR-M或小型VCR-M等?
市场现状和发展趋势
目前,全球半导体产业向中国转移的趋势加深,带动了超高纯气体应用需求的增加,进而推动了高纯压力表市场的快速增长。尽管国内市场需求主要依赖于进口,但本土企业正在不断提升技术水平,促进国产化水平的提升?1。未来,随着技术的进步和市场的扩大,高纯压力表的市场前景广阔。